新款ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵節(jié)電配件

簡(jiǎn)要描述：新款ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵節(jié)電配件
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專(zhuān)為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

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新款ULVAC愛(ài)發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵節(jié)電配件

特點(diǎn)

通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專(zhuān)為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

當(dāng)使用干泵時(shí)可選配，用于降低排氣噪音。

特點(diǎn)

大氣壓附近的排氣速度高，可以縮短排氣時(shí)間。

ECO-SHOCK技術(shù)實(shí)現(xiàn)低功耗（C型號(hào)）

　極限壓力下的功耗為0.6 kW或更低（LS120A-C）

配有專(zhuān)用的消音器

　極限壓力下的噪音水平為61 dB（A）或更低

無(wú)需先前所需要的軸封氣體

　※L型可以使用稀釋氣體。

排氣速度120-1200 m3 / h級(jí)　※可與機(jī)械增壓泵結(jié)合使用

　可以根據(jù)應(yīng)用選擇最佳排氣能力的型號(hào)

得點(diǎn)

出色的消音效果

可以通過(guò)卡箍連接到泵的排氣口

規(guī)格

型式		ES10	ES4A
電源	規(guī)格	單相　AC100～220V　50/60Hz	單相　 AC200～220V±5% 50/60Hz
	最大功耗	65W *1	400W
控制	輸入	遠(yuǎn)程啟動(dòng)/停止（接點(diǎn) DC24V有電圧）　接點(diǎn)容量2.0A以上請(qǐng)準(zhǔn)備無(wú)電源接點(diǎn) *2
	輸出	過(guò)電流報(bào)警輸出(接點(diǎn) 無(wú)電圧) 接點(diǎn)容量：DC24V 1.0A	啟動(dòng)確認(rèn)、省電確認(rèn)、本體警報(bào)、過(guò)電流警報(bào)
	顯示	運(yùn)作時(shí)間顯示	運(yùn)作時(shí)間、啟動(dòng)確認(rèn)、省電確認(rèn)、本體警報(bào)、過(guò)電流警報(bào)
外觀尺寸	本體單元	175mm×310mm×240mm	250mmx475mmx373mm
	閥單元	Φ66mm×110mm(NW40) *3	選項(xiàng)
質(zhì)量		本體單元：8.3kg　閥單元：800g	32kg
質(zhì)量		G1/4" (INLET、OUTLET)　已安裝連接器	Φ16mm管接頭( 推薦管的長(zhǎng)度為1.5m以內(nèi))

*1 干泵的使用工藝氣體、吹掃氣體 0Pam3/s*2 手動(dòng)啟動(dòng)/停止時(shí)可以通過(guò)跳轉(zhuǎn)控制連接器的PIN，來(lái)ON/OFF電路保護(hù)器。*3 ES10標(biāo)配一個(gè)閥單元

*1 電源頻率60Hz
*2 密封氣體5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反復(fù)排氣60秒節(jié)拍的測(cè)量示例。