新產(chǎn)品ULVAC愛(ài)發(fā)科通用螺桿型干泵MS600A

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螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

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新產(chǎn)品ULVAC愛(ài)發(fā)科通用螺桿型干泵MS600A

特點(diǎn)

通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，進(jìn)行腐蝕。

采用ULVAC 設(shè)計(jì)的底座軸，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運(yùn)行。

目的

半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號(hào)專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計(jì)

規(guī)格

型式		MS120A	MS600A	MS1200A
最大排氣速度*1	立方米^/小時(shí)	115	560	980
累計(jì)重量	帕	≦0.6	≦0.1
電源電壓		200V級(jí)：3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V級(jí)：3相, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費(fèi)電力概略值*2	千瓦	2.4	3.1	3.1
冷卻水量	升/分鐘	>4.0
吹掃氣體量 *1	空間光調(diào)制器	0~50
最大水蒸氣處理量13	公斤/小時(shí)	1.5
噪音值*1	分貝(聲級(jí))	61	62	64
吸氣口		KF50(臥式) / VG50(立式)	ISO-F-80	ISO-F-100
排氣口		KF40
質(zhì)量 *4	公斤	139	241	264
適用規(guī)格		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)附屬產(chǎn)品		快速手冊(cè)、電源連接器、防水電纜夾、遙控連接器、電源連接器防護(hù)罩、消音器
本體選配件		電源：200V級(jí)或400V級(jí) 密封材質(zhì)：FKM或FFKM
外部選配件		包裝排氣口、防震支架、LR 兼容單元（入口、遠(yuǎn)程）、吹掃氣閥