一、產(chǎn)品概述

ULVAC愛發(fā)科推出的 DIS-90 渦旋式干泵，是一款采用雙繞式渦旋結(jié)構(gòu)的兩階段干式真空泵。型號(hào) DIS-90 設(shè)計(jì)排氣速度 90 L/min（50Hz）/ 108 L/min（60Hz），極限壓力可達(dá) 5 Pa，具備從大氣壓到極限壓力全范圍運(yùn)行能力。該產(chǎn)品采用無油渦旋設(shè)計(jì)，低振動(dòng)、低噪音，維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制，適用于分析設(shè)備、氣體回收系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備及半導(dǎo)體制造工藝等應(yīng)用場(chǎng)景。

二、產(chǎn)品規(guī)格

三、核心設(shè)計(jì)特征

1. 雙繞式渦旋結(jié)構(gòu)
采用 1 根軌道螺旋和 2 根固定螺旋的雙繞式設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高效排氣和優(yōu)異的極限真空度。

2. 干式無油設(shè)計(jì)
泵腔內(nèi)無油運(yùn)行，排氣清潔，不會(huì)發(fā)生真空油的返流和油霧，適用于對(duì)清潔度要求高的工藝。

3. 全壓力范圍運(yùn)行
可從大氣壓力到極限壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行，無需旁通管路。

4. 低振動(dòng)·低噪音
噪音水平 ≤ 52 dB（AF 開時(shí)），適合在實(shí)驗(yàn)室和安靜環(huán)境中使用。

5. 空氣沖洗功能
通過空氣沖洗（Air Flash）操作，可排出殘留在泵中的水分，并具有恢復(fù)極限壓力的效果。

6. 內(nèi)置安全保護(hù)
配備自動(dòng)復(fù)位型熱保護(hù)器等安全設(shè)計(jì)，防止電機(jī)過載。

7. 緊湊輕量
重量?jī)H 14kg，外形小巧，便于安裝在有限空間內(nèi)。

四、型號(hào)與標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)

注：cTUVus 認(rèn)證表示本產(chǎn)品已通過國際第三方產(chǎn)品安全測(cè)試和認(rèn)證，符合美國標(biāo)準(zhǔn)。

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景

六、選型要點(diǎn)

• 電源條件：?jiǎn)蜗?100V/200V 系，可通過更換端子板切換電壓

• 排氣速度需求：50Hz 下 90 L/min，60Hz 下 108 L/min

• 安裝環(huán)境：僅限室內(nèi)使用，環(huán)境溫度 5～40℃

• 水蒸氣處理：有少量水蒸氣時(shí)，可通過空氣沖洗功能（AF 開）將處理量提高至 5 g/day

• 排氣成分：不適用于爆炸性、易燃性、有毒或腐蝕性氣體

七、注意事項(xiàng)

• 吸入粉末或生成物會(huì)導(dǎo)致泵損壞，請(qǐng)使用吸氣阱

• 禁止抽排有害、爆炸性、易燃性或腐蝕性氣體，否則可能導(dǎo)致故障、爆炸或火災(zāi)

• 僅供室內(nèi)使用，請(qǐng)勿安裝于下雨或淹水的地方或室外

• 維護(hù)周期可通過計(jì)時(shí)表控制，建議定期進(jìn)行檢查和保養(yǎng)

• 空氣沖洗操作不僅排出殘留在泵中的水，還具有恢復(fù)極限壓力的效果

八、總結(jié)

ULVAC DIS-90 渦旋式干泵通過雙繞式渦旋結(jié)構(gòu)和干式無油設(shè)計(jì)，為分析設(shè)備、鍍膜工藝及半導(dǎo)體制造等應(yīng)用提供了一套清潔、低噪音的真空解決方案。其 90 L/min 的排氣速度、5 Pa 的極限壓力及 52 dB 的低噪音水平，適用于需要清潔真空和安靜運(yùn)行環(huán)境的各類工業(yè)和研究場(chǎng)景。