一、產(chǎn)品定位：旗艦級(jí)移動(dòng)式檢漏

INFICON UL6000 Fab氦氣泄漏檢測器是UL移動(dòng)式氦氣檢漏儀產(chǎn)品組合中的旗艦型號(hào)，專為滿足半導(dǎo)體、太陽能電池制造、平板顯示器等行業(yè)中大型工藝設(shè)備的嚴(yán)苛檢漏需求而生。它以行業(yè)的檢測速度、超高靈敏度和穩(wěn)定可靠的性能，成為制造領(lǐng)域保障設(shè)備真空密封性、提升產(chǎn)品良率的核心裝備。

二、核心技術(shù)與性能優(yōu)勢

1. 極速檢測架構(gòu)設(shè)備搭載創(chuàng)新的 booster 渦輪分子泵，氦氣抽速可達(dá)36升/秒，配合抽氣能力為36立方米/小時(shí)的羅茨粗抽泵，能在極短時(shí)間內(nèi)完成大容積腔體的抽真空作業(yè)，相比同類設(shè)備，針對(duì)50至1000升的大型工裝，每次測試可節(jié)省數(shù)分鐘時(shí)間。同時(shí)，其獨(dú)特的真空架構(gòu)可在寬壓力范圍內(nèi)維持高抽速，確保檢測響應(yīng)速度與信號(hào)強(qiáng)度。

2. 智能算法賦能內(nèi)置INFICONI·CAL智能泄漏率計(jì)算算法與HYDRO·S氫氣抑制算法，前者確保在10^-9至10^-12 mbar·l/s的全測量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)，后者可快速抑制環(huán)境中氫氣干擾，大幅縮短測試準(zhǔn)備時(shí)間。UL6000 Fab PLUS型號(hào)更配備I·RISE智能上升率功能，將壓力上升測量與氦氣噴射法結(jié)合，使測量時(shí)間大幅縮短，最多可節(jié)省50%的檢漏時(shí)長。

3. 超高靈敏度與可靠性采用ULTRATEST™傳感器技術(shù)與經(jīng)多年驗(yàn)證的扇形磁場質(zhì)譜儀，能穩(wěn)定檢測低至5×10^-12 mbar·l/s的極小漏率，且具備免維護(hù)設(shè)計(jì)，長期使用仍能保持?jǐn)?shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與重復(fù)性。設(shè)備還擁有自我保護(hù)機(jī)制，可抵御氦氣與粒子污染，自動(dòng)沖凈周期確保隨時(shí)可用。

三、技術(shù)參數(shù)

• 檢測靈敏度：真空模式下<5×10^-12 mbar·l/s，吸槍模式下<5×10^-8 mbar·l/s

• 抽氣系統(tǒng)：booster渦輪分子泵（氦氣抽速36L/s）+羅茨粗抽泵（抽氣能力36m3/h）

• 接口配置：標(biāo)配DN63 ISO-K進(jìn)氣法蘭，可選DN40適配器

• 啟動(dòng)與校準(zhǔn)時(shí)間：開機(jī)時(shí)間<2分鐘，校準(zhǔn)時(shí)間<30秒

• 物理規(guī)格：尺寸1050×427×1040mm，重量143kg

四、典型應(yīng)用場景

1. 半導(dǎo)體制造：針對(duì)晶圓加工設(shè)備腔體、真空法蘭、冷卻管路等關(guān)鍵部位，檢測極限泄漏率低于1×10^-9 mbar·l/s的微小泄漏，保障光刻、沉積等工藝的真空環(huán)境穩(wěn)定性，避免因泄漏導(dǎo)致的產(chǎn)品良率下降。

2. 光伏與平板顯示：在PECVD、ALD等鍍膜設(shè)備中，精準(zhǔn)檢測密封接頭與電極連接處的泄漏，防止雜質(zhì)污染影響電池效率與顯示面板質(zhì)量。

3. 大型真空系統(tǒng)維護(hù)：適用于科研實(shí)驗(yàn)室粒子加速器、航天模擬艙等對(duì)真空度要求嚴(yán)苛的設(shè)備，提升維護(hù)響應(yīng)速度與系統(tǒng)可靠性，減少停機(jī)維護(hù)時(shí)間。